【本报讯】 近日，由兰州空间技术物理研究所自主研制的高准确度电容薄膜型真空测量设备顺利通过市科技局组织的项目验收，产品核心指标已达到国际同类产品水平。

高准确度电容薄膜型真空测量设备是核原料制备、集成电路制造、深空探测等领域必需的粗低真空测量仪器，具有测量准确度高、线性好、输出的重复性和长期稳定性好、能够测量气体和蒸汽的全压力、测量结果与气体成分和种类无关等诸多优点。目前我国尚无生产高准确度电容薄膜型真空测量设备的能力，产品主要依赖国外进口，严重制约了我国真空装备产业能力的提升。该项目通过开展电容薄膜型真空测量设备研制，突破了高准确度电容薄膜型真空测量设备研制关键技术，并形成了一定的产业化能力，产品能够服务于我国真空装备产业，满足我国各领域对真空计量标准器具的迫切需求，在填补国内技术空白的同时，打破了国外技术垄断。

兰州空间技术物理研究所依托真空计量技术研究中心多年来的技术沉淀，充分发挥其在真空测量领域的技术优势和产品研发能力，项目团队先后攻克了金属感压薄膜张紧控制、微小电容测量电路研制等核心技术，发表学术论文10篇，其中SCI收录2篇，申报国家发明专利2项，具有完全自主知识产权。

项目团队按照“生产一代，研发一代”的思路，面向芯片制造、半导体工业等高端市场，正在开展更高指标电容薄膜型真空测量设备的研发，未来将实现电容薄膜型真空测量设备全系列化发展。

兰州日报社全媒体记者 孙理